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铜铬溅射靶材(CuCr)


材料类型 铜铬靶(CuCr)
元素符号 CuCr
纯度 3N,3N5
尺寸 按需求
形状 平面/圆形/旋转靶
交期 1-3周
定制 支持定制
绑定服务 支持
用途 半导体、显示面板、光学器件、太阳能及功能涂层
产品简介

铜铬(CuCr)溅射靶材描述:

铜铬(CuCr)溅射靶材是一种高性能合金材料,结合了铜优异的导电性、导热性和延展性,以及铬的高硬度、耐腐蚀性和耐磨性能。其广泛应用于薄膜沉积领域,可用于制备具有高导电性、耐磨性和耐腐蚀性的功能薄膜,是半导体、光电、工业及装饰镀膜等行业的重要材料。该类靶材通常采用粉末冶金工艺制造,具有高致密度、均匀显微组织以及稳定的溅射性能,可实现高效率薄膜沉积。

CuCr 合金比例(核心比例信息)

CuCr 合金比例应用特点
Cu:Cr = 95:5最常见的常规比例,适用于一般工业与电子应用(如普通导电薄膜、装饰镀层及电接触材料)。兼顾导电性与硬度,溅射性能稳定,性价比高,可满足基础应用需求。
Cu:Cr = 90:10铜含量较高,具有优异的导电性和导热性,适用于中高端电子与光电应用(如半导体辅助导电层、光电器件电极及互连结构)。可有效保证薄膜形成稳定性并减少杂质干扰,提高器件性能与可靠性。
Cu:Cr = 60:40铜铬比例均衡,综合性能优异,适用于精密工业镀层、反射镜及光电功能薄膜。兼具良好的导电性以及增强的耐腐蚀、耐磨性能,可适应多种复杂应用场景。
Cu:Cr = 50:50铬含量较高,具有出色的硬度和耐腐蚀性能,适用于高磨损工业部件、切削工具及高温防护涂层。退火后还可用于制备 p 型透明导电氧化物薄膜,适用于光电器件。

半导体与微电子

广泛应用于集成电路、晶圆及电子封装中的导电层、互连线及扩散阻挡辅助层。利用铜良好的导电性能与铬的稳定性,可确保电子器件稳定运行并减少杂质干扰。

光电与显示器件

用于显示器、太阳能电池、光电传感器及 LED 等功能薄膜沉积,可提升器件的导电性、耐磨性与透光性能,并增强产品的使用寿命与稳定性。同时还可用于新型光电器件中的 p 型透明导电电极制备。

工业防护镀层

适用于制备耐磨、耐腐蚀及耐高温涂层,广泛应用于工业机械、精密零部件、切削工具等领域,可有效延长设备使用寿命并降低维护成本。

装饰及其他应用

用于五金件、建筑部件及消费电子产品的装饰镀层,具有明亮的表面效果及良好的耐腐蚀性能。同时也广泛应用于材料科学研究、薄膜沉积实验及特殊功能材料制备,满足前沿科研与特殊工业领域的高标准需求。

兼容性

不同成分比例的 CuCr 溅射靶材均兼容直流(DC)及射频(RF)磁控溅射系统,可实现稳定沉积、均匀膜厚及高质量薄膜形成,充分满足不同领域的应用需求。产品可根据实际要求定制为多种形状与尺寸。

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