钽钛溅射靶材（TaTi）
| 材料类型 | 钽钛靶（TaTi） |
|---|---|
| 元素符号 | TaTi |
| 纯度 | 3N5 |
| 尺寸 | 按需求 |
| 形状 | 平面/圆形/旋转靶 |
| 交期 | 1-3周 |
| 定制 | 支持定制 |
| 绑定服务 | 支持 |
| 用途 | 半导体、显示面板、光学器件、太阳能及功能涂层 |
产品简介
钽钛（TaTi）溅射靶材介绍：
钽钛（TaTi）溅射靶材是一种高性能二元合金材料，广泛应用于先进电子、光学及工业领域中的高性能阻挡层、防护层及耐高温薄膜沉积。TaTi 合金具有优异的抗氧化性能、热稳定性、良好的附着力、低内应力以及均匀成膜性能，是高耐久性功能涂层的理想材料。
常规成分比例：
TaTi 10/90、20/80、30/70、50/50、70/30、90/10（重量比或原子比）
高温防护涂层
TaTi 靶材常用于切削工具、发动机部件以及极端环境下表面防护层的抗氧化、耐腐蚀涂层沉积。
半导体与微电子领域
应用于集成电路、晶圆及电子封装中的扩散阻挡层、封装薄膜以及钝化涂层。
光学与防护薄膜
用于制备具有高热稳定性和机械稳定性的耐久型光学涂层、减反射膜以及硬质保护层。
薄膜封装与阻挡材料
适用于显示器件及光电器件中的气体阻挡膜、防潮涂层以及绝缘层。
科研与先进涂层开发
广泛应用于材料科学、薄膜沉积以及高性能涂层研发领域。
TaTi 溅射靶材兼容 DC 与 RF 磁控溅射系统，可实现稳定沉积并获得高质量薄膜。
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