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钴铝溅射靶材(CoAl)


材料类型 钴铝靶 (CoAl)
元素符号 CoAl
纯度 2N5,3N,3N5
尺寸 按需求
形状 平面/圆形/异形靶
交期 1-3周
定制 支持定制
绑定服务 支持
用途 半导体、显示面板、光学器件、太阳能及功能涂层
产品简介


钴铝(CoAl)溅射靶材描述:


钴铝(Co-Al)合金靶材是一种应用领域较为明确的特种合金靶材:用于制造高性能薄膜材料。

常用比例:

钴铝合金 82/18wt%


钴铝合金 1:2at%


钴铝靶材的应用高度集中于微电子领域,发挥着至关重要的作用,尤其是在先进芯片制造方面:


先进的半导体互连和势垒层:这是钴铝靶材最前沿、最核心的应用方向。



此外,它还可以被研究用作某些特殊器件的金属栅电极。



CoAl18wt%-3N-COA

CoAl18wt3N 800X600.jpg

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