产品简介
硅溅射靶材（Si）信息
硅，化学符号Si。原子序数为14，相对原子质量为28.0855。它有两种同素异形体：非晶硅和晶体硅。它属于元素周期表第三周期，是IVA族的类金属元素。密度为2.32-2.34g/cm³，熔点为1410°C，沸点为2355°C。晶体硅是一种原子晶体。不溶于水、硝酸和盐酸，可溶于氢氟酸和碱。质地坚硬，呈金属状。
| 材料类型 | 硅 |
| 简称 | 硅（单晶硅、多晶硅） |
| 原子重量 | 28.0855 |
| 原子序数 | 14 |
| 颜色/外观 | 深灰色，略带蓝色，半金属 |
| 热导率 | 150 W/m.K |
| 熔点 (℃) | 1410 |
| 体积电阻率 | >1 OHM-CM |
| 热膨胀系数 | 2.6 x 10-6/K |
| 理论密度 (g/cc) | 2.32 |
| Dopant | Undoped |
| Z Ratio | 0.712 |
| Sputter | RF |
| 最大功率密度 | 20* |
| (Watts/Square Inch) | |
| 绑定类型 | 铟，胶 |
| 建议 | Alloys with W; use heavy W boat. SiO produced. |
我们的硅靶材纯度高达99.9999%，采用熔炼工艺退火，气体含量低，粒度分布均匀。
硅合金靶材常用于半导体、光学、纳米技术、晶圆、电路制造等领域。
用于通过磁控溅射工艺沉积SiO2、Si3N4等介质层。所沉积薄膜具有优异的硬度、光学性能、介电性能、耐磨性和耐腐蚀性，广泛应用于LCD透明导电玻璃、LOW-E建筑玻璃和微电子领域。
我们按单位重量或件数出售这些不同形状的金属硅材料，用于研究领域和新型专有技术的不同用途。实际价格可能会有所不同，可能会更高或更低，具体取决于供应情况和市场波动。如需直接咨询当前价格，请点击“咨询”。
Si-5N-COA
