物理和化学特性
氮化铝陶瓷靶材是一种陶瓷溅射材料，其化学式为AlN，熔点为2200℃，密度为3.26g/cm³，沸点为2517℃。它具有硬度高、熔点高、化学性质稳定、导电性好等特点。
制造方法：等离子弧蒸汽
用途
纳米氮化铝主要用于制备集成电路减法、电子器件、光学器件、热发射器件、高温坩埚、金属基及聚合物基复合材料，尤其在高温密封胶粘剂和电子封装材料方面，未来将获得广泛的应用。
相关陶瓷溅射材料
|
氧化物溅射靶材
|
|
(Al2O3)
|
(Fe3O4)
|
(LaNiO3)
|
(Sc2O3)
|
(AZO)
|
|
(FTO)
|
(LaFeO3)
|
(SrTiO3)
|
(ATO)
|
(Ga2O3)
|
|
(LaMnO3)
|
(SrRuO3)
|
(Bi2O3)
|
(GZO)
|
(MgO)
|
|
(SrMnO3)
|
(BiTiO3)
|
(Gd2O3)
|
(MoO3)
|
(TiO2)
|
|
(BaTiO3)
|
(HfO2)
|
(Nb2Ox)
|
(Ti3O5)
|
(CeO2)
|
|
(Ho2O3)
|
(NiO)
|
(Ta2O5)
|
(Cr2O3)
|
(In2O3)
|
|
(Nd2O3)
|
(Tb4O7)
|
(CoO)
|
(ITO)
|
(PbO)
|
|
(Tm2O3)
|
(CuO)
|
(IZO)
|
(ZTO)
|
(VO2)
|
|
(Cu2O)
|
(IGZO)
|
(Pr6O11)
|
(V2O3)
|
(Er2O3)
|
|
(La2O3)
|
(SiO)
|
(V2O5)
|
(Eu2O3)
|
(LSCO)
|
|
(SiO2)
|
(WO3)
|
(Fe2O3)
|
(LaAl2O3)
|
(Sm2O3)
|
|
(Y2O3)
|
(YSZ)
|
(YBCO)
|
(ZnO)
|
(ZrO2)
|
|
氟化物溅射靶材
|
|
(AlF3)
|
(DyF3)
|
(NdF3)
|
(PrF3)
|
(YF3)
|
|
(BaF2)
|
(LiF)
|
(NaF)
|
(SrF3)
|
(ZnF3)
|
|
(CaF2)
|
(LaF3)
|
(Na2AlF6)
|
(SmF3)
|
(YbF3)
|
|
(CeF3)
|
(MgF2)
|
(KF)
|
|
|
|
氮化物溅射靶材
|
|
(AlN)
|
(HfN)
|
(Si3N4)
|
(TiN)
|
(ZrN)
|
|
(BN)
|
(NbN)
|
(TaN)
|
(VN)
|
|
|
碳化物溅射靶材
|
|
(B4C)
|
(NbC)
|
(TaC)
|
(WC)
|
(ZrC)
|
|
(HfC)
|
(NiC)
|
(TiC)
|
(WC+Co)
|
(VC)
|
|
(MoC)
|
(SiC)
|
(TiCN)
|
|
|
|
硼化物溅射靶材
|
|
(CrB2)
|
(FeB)
|
(TaB)
|
(TiB2)
|
(HfB2)
|
|
(LaB6)
|
(ZrB2)
|
|
|
|
|
硫化物溅射靶材
|
|
(CdS)
|
(FeS)
|
(MnS)
|
(TaS)
|
(MgS)
|
|
(CuS)
|
(PbS)
|
(NbS)
|
(WS2)
|
(Sb2S3)
|
|
(Ce2S3)
|
(MoS2)
|
(In2S3)
|
(ZnS)
|
|
|
硅化物溅射靶材
|
|
(CrSi)
|
(MgSi)
|
(TaSi2)
|
(WSi2)
|
(ZrSi2)
|
|
(MoSi2)
|
(NiSi)
|
(TiSi2)
|
(VSi)
|
|
|
硒化物溅射靶
|
|
(Bi2Se3)
|
(CrSe)
|
(MoSe2)
|
(Ga2Se3)
|
(WSe2)
|
|
(Cu2Se)
|
(PbSe)
|
(In2Se3)
|
(GeSe2)
|
(SnSe)
|
|
(CdSe)
|
(Sb2Se3)
|
|
|
|
|
碲化物溅射靶
|
|
(CdTe)
|
(PbTe)
|
(GeTe)
|
(GST)
|
(Bi2Te3)
|
|
(Sb2Te3)
|
(Sb7Te3)
|
|
|
|
|
锑化物溅射靶材
|
|
(AlSb)
|
(InSb)
|
(GaSb)
|
(ZnSb)
|
(AlGaSb)
|
|
铁电/锂电池复合溅射靶材
|
|
钴酸锂 LiCoO2
|
锂锰镍氧化物 LiNi0.5Mn1.5O3
|
磷酸铁锂 LiFePO4
|
富锂钴氧化物Li(1+X)CoO2
|
富锂锰酸锂Li(1+X)Mn2O4
|
|
钛酸锂Li4Ti5O12
|
铝掺杂钴酸锂 AlLiCoO2
|
铝掺杂锰酸锂 LiMn2O4+Alx
|
磷酸钛锂LiTi2(PO4)3
|
锰酸锂 LiMn2O4
|
|
磷酸锂 Li3PO4
|
磷酸硅锂 LiSiPO4
|
钛酸钡BaTiO3
|
钛酸锶SrTiO3
|
钛酸铋BiTiO3
|
|
镧锶钴氧化物 LSCO
|
镧钙锰氧化物 LCMO
|
钴酸锂 LiCo2O4
|
锆钛酸铅PZT
|
氧化硼掺杂磷酸锂 Li3PO4:B2O3
|
|
钛酸镧锂 Li0.35La0.57TiO3
|
镧锆锂氧化物 LLZO
|
镧锶锰氧化物LSMO
|
铋铁氧体BiFeO3
|
钛酸锶钡 BaSrTiO3
|
