物理和化学特性
碳化硅陶瓷靶材以Si和SiC为原料制备而成，熔点为2700℃，密度为3.22g/cm³。本发明具有生产工艺简单、生产成本低、耐磨性好、应用范围广等优点，广泛应用于高温高压下工作的半导体电子器件。
碳化硅 (SiC)，也称为碳化硅，是一种硅和碳的化合物，化学式为 SiC。它在自然界中以极其稀有的矿物莫桑石的形式存在。自 1893 年以来，合成碳化硅粉末已大量用作磨料。碳化硅颗粒可以通过烧结粘合在一起，形成坚韧的陶瓷，广泛应用于需要高耐久性的领域，例如汽车制动器、汽车离合器和防弹背心的陶瓷板。电子碳化硅的应用，例如发光二极管 (LED) 和早期收音机中的检波器，最早在 1907 年左右得到展示。碳化硅用于在高温或高压（或两者兼有）下工作的半导体电子设备。大型碳化硅单晶可以通过 Lely 法生长。它们可以切割成称为合成莫桑石的宝石。高表面积的碳化硅可以从植物材料中的 SiO2 中生产出来。
相关陶瓷溅射材料
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氧化物溅射靶材 |
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(Al2O3) |
(Fe3O4) |
(LaNiO3) |
(Sc2O3) |
(AZO) |
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(FTO) |
(LaFeO3) |
(SrTiO3) |
(ATO) |
(Ga2O3) |
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(LaMnO3) |
(SrRuO3) |
(Bi2O3) |
(GZO) |
(MgO) |
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(SrMnO3) |
(BiTiO3) |
(Gd2O3) |
(MoO3) |
(TiO2) |
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(BaTiO3) |
(HfO2) |
(Nb2Ox) |
(Ti3O5) |
(CeO2) |
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(Ho2O3) |
(NiO) |
(Ta2O5) |
(Cr2O3) |
(In2O3) |
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(Nd2O3) |
(Tb4O7) |
(CoO) |
(ITO) |
(PbO) |
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(Tm2O3) |
(CuO) |
(IZO) |
(ZTO) |
(VO2) |
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(Cu2O) |
(IGZO) |
(Pr6O11) |
(V2O3) |
(Er2O3) |
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(La2O3) |
(SiO) |
(V2O5) |
(Eu2O3) |
(LSCO) |
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(SiO2) |
(WO3) |
(Fe2O3) |
(LaAl2O3) |
(Sm2O3) |
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(Y2O3) |
(YSZ) |
(YBCO) |
(ZnO) |
(ZrO2) |
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氟化物溅射靶材 |
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(AlF3) |
(DyF3) |
(NdF3) |
(PrF3) |
(YF3) |
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(BaF2) |
(LiF) |
(NaF) |
(SrF3) |
(ZnF3) |
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(CaF2) |
(LaF3) |
(Na2AlF6) |
(SmF3) |
(YbF3) |
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(CeF3) |
(MgF2) |
(KF) |
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氮化物溅射靶材 |
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(AlN) |
(HfN) |
(Si3N4) |
(TiN) |
(ZrN) |
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(BN) |
(NbN) |
(TaN) |
(VN) |
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碳化物溅射靶材 |
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(B4C) |
(NbC) |
(TaC) |
(WC) |
(ZrC) |
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(HfC) |
(NiC) |
(TiC) |
(WC+Co) |
(VC) |
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(MoC) |
(SiC) |
(TiCN) |
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硼化物溅射靶材 |
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(CrB2) |
(FeB) |
(TaB) |
(TiB2) |
(HfB2) |
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(LaB6) |
(ZrB2) |
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硫化物溅射靶材 |
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(CdS) |
(FeS) |
(MnS) |
(TaS) |
(MgS) |
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(CuS) |
(PbS) |
(NbS) |
(WS2) |
(Sb2S3) |
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(Ce2S3) |
(MoS2) |
(In2S3) |
(ZnS) |
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硅化物溅射靶材 |
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(CrSi) |
(MgSi) |
(TaSi2) |
(WSi2) |
(ZrSi2) |
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(MoSi2) |
(NiSi) |
(TiSi2) |
(VSi) |
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硒化物溅射靶 |
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(Bi2Se3) |
(CrSe) |
(MoSe2) |
(Ga2Se3) |
(WSe2) |
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(Cu2Se) |
(PbSe) |
(In2Se3) |
(GeSe2) |
(SnSe) |
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(CdSe) |
(Sb2Se3) |
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碲化物溅射靶 |
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(CdTe) |
(PbTe) |
(GeTe) |
(GST) |
(Bi2Te3) |
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(Sb2Te3) |
(Sb7Te3) |
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锑化物溅射靶材 |
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(AlSb) |
(InSb) |
(GaSb) |
(ZnSb) |
(AlGaSb) |
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铁电/锂电池复合溅射靶材 |
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钴酸锂 LiCoO2 |
锂锰镍氧化物 LiNi0.5Mn1.5O3 |
磷酸铁锂 LiFePO4 |
富锂钴氧化物Li(1+X)CoO2 |
富锂锰酸锂Li(1+X)Mn2O4 |
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钛酸锂Li4Ti5O12 |
铝掺杂钴酸锂 AlLiCoO2 |
铝掺杂锰酸锂 LiMn2O4+Alx |
磷酸钛锂LiTi2(PO4)3 |
锰酸锂 LiMn2O4 |
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磷酸锂 Li3PO4 |
磷酸硅锂 LiSiPO4 |
钛酸钡BaTiO3 |
钛酸锶SrTiO3 |
钛酸铋BiTiO3 |
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镧锶钴氧化物 LSCO |
镧钙锰氧化物 LCMO |
钴酸锂 LiCo2O4 |
锆钛酸铅PZT |
氧化硼掺杂磷酸锂 Li3PO4:B2O3 |
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钛酸镧锂 Li0.35La0.57TiO3 |
镧锆锂氧化物 LLZO |
镧锶锰氧化物LSMO |
铋铁氧体BiFeO3 |
钛酸锶钡 BaSrTiO3 |
