物理和化学特性
二氧化硅陶瓷靶材含有硅和氧。它是由地球上两种最丰富的物质组成的天然化合物。二氧化硅通常被认为是石英的一种形式。像二氧化硅这样的化合物在高温下熔化，然后迅速冷却形成玻璃。它也是沙子和石英的主要成分。它是半导体和太阳能电池板应用的主要原材料。
靶材特征
摩尔质量：60.08 g/mol
外观：透明固体（非晶态）
密度：2.648（α-石英），2.196（非晶态）g·cm -3
熔点：1,713 °C (3,115 °F; 1,986 K)
沸点：2,950 °C (5,340 °F; 3,220 K)
磁化率 (χ)：-29.6·10 -6 cm 3 /mol
热导率：12 (|| c 轴), 6.8 (⊥ c 轴), 1.4 (am.) W/(m⋅K)(p12.213)
折射率 (nD)：1.544 (o), 1.553 (e) (p4.143)
制造工艺
制造 -冷压烧结弹性体粘合至背板。
相关陶瓷溅射材料
相关陶瓷溅射材料
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氧化物溅射靶材
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(Al2O3)
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(Fe3O4)
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(LaNiO3)
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(Sc2O3)
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(AZO)
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(FTO)
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(LaFeO3)
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(SrTiO3)
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(ATO)
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(Ga2O3)
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(LaMnO3)
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(SrRuO3)
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(Bi2O3)
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(GZO)
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(MgO)
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(SrMnO3)
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(BiTiO3)
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(Gd2O3)
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(MoO3)
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(TiO2)
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(BaTiO3)
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(HfO2)
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(Nb2Ox)
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(Ti3O5)
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(CeO2)
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(Ho2O3)
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(NiO)
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(Ta2O5)
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(Cr2O3)
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(In2O3)
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(Nd2O3)
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(Tb4O7)
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(CoO)
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(ITO)
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(PbO)
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(Tm2O3)
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(CuO)
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(IZO)
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(ZTO)
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(VO2)
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(Cu2O)
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(IGZO)
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(Pr6O11)
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(V2O3)
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(Er2O3)
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(La2O3)
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(SiO)
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(V2O5)
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(Eu2O3)
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(LSCO)
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(SiO2)
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(WO3)
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(Fe2O3)
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(LaAl2O3)
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(Sm2O3)
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(Y2O3)
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(YSZ)
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(YBCO)
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(ZnO)
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(ZrO2)
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氟化物溅射靶材
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(AlF3)
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(DyF3)
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(NdF3)
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(PrF3)
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(YF3)
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(BaF2)
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(LiF)
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(NaF)
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(SrF3)
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(ZnF3)
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(CaF2)
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(LaF3)
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(Na2AlF6)
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(SmF3)
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(YbF3)
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(CeF3)
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(MgF2)
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(KF)
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氮化物溅射靶材
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(AlN)
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(HfN)
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(Si3N4)
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(TiN)
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(ZrN)
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(BN)
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(NbN)
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(TaN)
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(VN)
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碳化物溅射靶材
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(B4C)
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(NbC)
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(TaC)
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(WC)
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(ZrC)
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(HfC)
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(NiC)
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(TiC)
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(WC+Co)
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(VC)
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(MoC)
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(SiC)
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(TiCN)
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硼化物溅射靶材
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(CrB2)
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(FeB)
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(TaB)
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(TiB2)
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(HfB2)
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(LaB6)
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(ZrB2)
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硫化物溅射靶材
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(CdS)
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(FeS)
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(MnS)
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(TaS)
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(MgS)
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(CuS)
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(PbS)
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(NbS)
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(WS2)
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(Sb2S3)
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(Ce2S3)
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(MoS2)
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(In2S3)
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(ZnS)
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硅化物溅射靶材
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(CrSi)
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(MgSi)
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(TaSi2)
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(WSi2)
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(ZrSi2)
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(MoSi2)
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(NiSi)
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(TiSi2)
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(VSi)
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硒化物溅射靶
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(Bi2Se3)
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(CrSe)
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(MoSe2)
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(Ga2Se3)
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(WSe2)
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(Cu2Se)
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(PbSe)
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(In2Se3)
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(GeSe2)
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(SnSe)
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(CdSe)
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(Sb2Se3)
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碲化物溅射靶
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(CdTe)
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(PbTe)
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(GeTe)
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(GST)
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(Bi2Te3)
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(Sb2Te3)
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(Sb7Te3)
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锑化物溅射靶材
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(AlSb)
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(InSb)
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(GaSb)
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(ZnSb)
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(AlGaSb)
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铁电/锂电池复合溅射靶材
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钴酸锂 LiCoO2
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锂锰镍氧化物 LiNi0.5Mn1.5O3
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磷酸铁锂 LiFePO4
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富锂钴氧化物Li(1+X)CoO2
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富锂锰酸锂Li(1+X)Mn2O4
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钛酸锂Li4Ti5O12
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铝掺杂钴酸锂 AlLiCoO2
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铝掺杂锰酸锂 LiMn2O4+Alx
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磷酸钛锂LiTi2(PO4)3
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锰酸锂 LiMn2O4
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磷酸锂 Li3PO4
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磷酸硅锂 LiSiPO4
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钛酸钡BaTiO3
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钛酸锶SrTiO3
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钛酸铋BiTiO3
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镧锶钴氧化物 LSCO
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镧钙锰氧化物 LCMO
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钴酸锂 LiCo2O4
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锆钛酸铅PZT
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氧化硼掺杂磷酸锂 Li3PO4:B2O3
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钛酸镧锂 Li0.35La0.57TiO3
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镧锆锂氧化物 LLZO
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镧锶锰氧化物LSMO
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铋铁氧体BiFeO3
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钛酸锶钡 BaSrTiO3
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