产品简介
物理和化学特性
高纯镍钒合金靶材呈银白色金属光泽，密度：6.11g/cm³，熔点：1910°C，沸点：3407°C。它是半导体领域最重要的薄膜溅射合金之一。它不仅具备纯镍所需的化学、电学和光学特性，还具有非铁磁性。由于其非铁磁性，它易于在高速磁控溅射设备中使用。
规格
尺寸：D152.4X6mm，可根据要求定制。
形状：平面靶、旋转靶、异形定制
Process flow Material Preparation - Melting - Chemical Analysis - Forging - Rolling - Annealing - Metallographic Inspection - Machining - Dimensional Inspection - Cleaning - Final Inspection - Packaging
Application
Mainly used in reactive magnetron sputtering to deposit dielectric layers such as SiO2 and SiN. As important functional thin film materials, they have good hardness, optical, dielectric properties and wear resistance. The corrosion resistance of silicon targets has broad application prospects in the fields of optics and microelectronics, and is currently widely used as a functional material around the world. At present, nickel vanadium targets are used in thin film deposition, decoration, semiconductors, displays, LED and photovoltaic devices, functional coatings and other optical information storage space industries, glass coating industries such as automotive glass and architectural glass, optical communications, etc.
NiV97/3wt%-3N5-COA
| 合金溅射靶材 | |||
| 镍钒靶（NiV靶） | 3N5 | 铁锰靶（FeMn靶） | 3N5 |
| 镍铬靶（NiCr靶） | 2N8，3N，3N5 | 铝铜靶（AlCu靶） | 4N，4N5，5N |
| 镍铁靶（NiFe靶） | 3N5 | 铝硅靶（AlSi靶） | 4N，4N5，5N |
| 镍铂靶（NiPt靶） | 3N5 | 铝钛靶（AlTi靶） | 4N，4N5 |
| 镍铜靶（NiCu靶） | 3N5 | 铝锡铜靶（AlSnCu靶） | 4N |
| 镍铜钛靶（NiCuTi靶） | 3N5 | 铝铜硅靶（AlCuSi靶） | 4N |
| 镍铜锰靶（NiCuMn靶） | 3N5 | 铝铬靶（AlCr靶） | 4N |
| 铝钛靶（NiTi靶） | 3N5，4N | 镍铜靶（NiCu靶） | 4N |
| 镍钨靶材（NiW靶材） | 4N | 铝钪靶（AlSc靶） | 3N5 |
| 镍钴靶（NiCo靶） | 3N5 | 铝锌靶（AlZn靶） | 3N5，4N |
| 镍铬硅靶（NiCrSi靶） | 3N | 铝镁靶（AlMg靶） | 3N5，4N |
| 镍铬铁靶（NiCrFe靶） | 3N | 钒钛靶（VTi靶） | 3N5 |
| 镍铁钼靶（NiFeMo靶） | 3N | 钒钽钨靶材（VTaW靶材） | 3N5 |
| 钴钽锆靶材（CoTaZr靶材） | 3N5 | 钨钛靶材（WTi靶材） | 3N5，4N |
| 钴铬靶（CoCr靶） | 3N5 | 钨钼靶材（WMo靶材） | 3N5 |
| 钴铬钼靶（CoCrMo靶） | 3N5 | 钼铌靶材（MoNb靶材） | 3N5 |
| 钴铬钨靶材（CoCrW靶材） | 3N5 | 钼钽靶（MoTa靶） | 3N5 |
| 钴铬镍靶（CoCrNi靶） | 3N5 | 钼钠靶（MoNa靶） | 3N5 |
| 铜镍靶（CuNi靶） | 3N5 | 铌锡靶（NbSn靶） | 3N5 |
| 铜镍钛靶（CuNiTi靶） | 3N5 | 铌锆靶材（NbZr靶材） | 3N5 |
| 铜镓靶（CuGa靶） | 4N，4N5 | 钽钨靶材（TaW靶材） | 3N5 |
| 铜铟靶（CuIn靶） | 4N，4N5 | 钽铌靶材（TaNb靶材） | 3N5 |
| 铜铟镓靶材（CuInGa靶材） | 4N，4N5 | 铬铝靶（CrAl靶） | 3N |
| 铜铝靶（CuAl靶） | 4N，4N5，5N | 铬硅靶（CrSi靶） | 3N |
| 铜锡靶（CuSn靶） | 4N | 铬硅铝靶（CrSiAl靶） | 3N |
| 铁铪靶（FeHf靶） | 3N5 | 锌锡靶（ZnSn靶） | 4N |
| 铁镍靶（FeNi靶） | 3N5，4N | 锌铝靶（ZnAl靶） | 4N |
| 铁硅靶（FeSi靶） | 3N5 | 锡银铜靶（SnAgCu靶） | 4N |
| 铁钴靶（FeCo靶） | 3N5 | 铟锡靶（InSn靶） | 4N |
