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铝钛(AlTi)溅射靶材


材料类型 铝钛
元素符号 AlTi
产品简介

物理和化学特性

钛铝合金靶材采用热等静压技术生产,具有硬度高、亮度高、耐腐蚀、抗氧化、长期不变色等特点。广泛应用于工具涂层、装饰涂层、各种磁控溅射、离子镀膜等设备。在PVD工艺中,可实现恒定的腐蚀速率以及高纯度、均匀的薄膜涂层。

采用钛镀铝膜的刀具可轻松实现更高的进给率、更佳的切削性能、更长的使用寿命和更高的金属去除率。钛铝溅射靶材和电弧阴极也可用于装饰涂层,以获得金棕色和棕黑色的膜层。我们的靶材已获得众多终端用户的认可,包括手表、卫浴、汽车后视镜等制造商。

Boyu生产用于装饰涂层和工具涂层的AlTi 25/75、AlTi 30/70、AlTi 33/67、AlTi 40/60、AlTi 50/50、AlTi 75/25 at%靶材和阴极。 我们灵活的生产工艺使我们能够调整涂层材料的微观结构,以达到您所需的效果。如果溅射靶材的颗粒排列均匀,用户就能获得恒定的蚀刻速率和均匀的涂层。

以下是我们 Al-Ti (30/70 at%) 溅射靶材的两张显微照片,平均晶粒尺寸如下 <100μm.

我们生产高纯度钛铝合金溅射靶材,其最重要的优势在于,您的薄膜拥有优异的导电性,并能最大程度地减少PVD工艺过程中的颗粒形成。下表是2N8高纯度钛铝合金(30/70原子%)溅射靶材的典型分析结果。

AlTi-3N-COA

合金溅射靶材
镍钒靶(NiV靶) 3N5 铁锰靶(FeMn靶) 3N5
镍铬靶(NiCr靶) 2N8,3N,3N5 铝铜靶(AlCu靶) 4N,4N5,5N
镍铁靶(NiFe靶) 3N5 铝硅靶(AlSi靶) 4N,4N5,5N
镍铂靶(NiPt靶) 3N5 铝钛靶(AlTi靶) 4N,4N5
镍铜靶(NiCu靶) 3N5 铝锡铜靶(AlSnCu靶) 4N
镍铜钛靶(NiCuTi靶) 3N5 铝铜硅靶(AlCuSi靶) 4N
镍铜锰靶(NiCuMn靶) 3N5 铝铬靶(AlCr靶) 4N
铝钛靶(NiTi靶) 3N5,4N 镍铜靶(NiCu靶) 4N
镍钨靶材(NiW靶材) 4N 铝钪靶(AlSc靶) 3N5
镍钴靶(NiCo靶) 3N5 铝锌靶(AlZn靶) 3N5,4N
镍铬硅靶(NiCrSi靶) 3N 铝镁靶(AlMg靶) 3N5,4N
镍铬铁靶(NiCrFe靶) 3N 钒钛靶(VTi靶) 3N5
镍铁钼靶(NiFeMo靶) 3N 钒钽钨靶材(VTaW靶材) 3N5
钴钽锆靶材(CoTaZr靶材) 3N5 钨钛靶材(WTi靶材) 3N5,4N
钴铬靶(CoCr靶) 3N5 钨钼靶材(WMo靶材) 3N5
钴铬钼靶(CoCrMo靶) 3N5 钼铌靶材(MoNb靶材) 3N5
钴铬钨靶材(CoCrW靶材) 3N5 钼钽靶(MoTa靶) 3N5
钴铬镍靶(CoCrNi靶) 3N5 钼钠靶(MoNa靶) 3N5
铜镍靶(CuNi靶) 3N5 铌锡靶(NbSn靶) 3N5
铜镍钛靶(CuNiTi靶) 3N5 铌锆靶材(NbZr靶材) 3N5
铜镓靶(CuGa靶) 4N,4N5 钽钨靶材(TaW靶材) 3N5
铜铟靶(CuIn靶) 4N,4N5 钽铌靶材(TaNb靶材) 3N5
铜铟镓靶材(CuInGa靶材) 4N,4N5 铬铝靶(CrAl靶) 3N
铜铝靶(CuAl靶) 4N,4N5,5N 铬硅靶(CrSi靶) 3N
铜锡靶(CuSn靶) 4N 铬硅铝靶(CrSiAl靶) 3N
铁铪靶(FeHf靶) 3N5 锌锡靶(ZnSn靶) 4N
铁镍靶(FeNi靶) 3N5,4N 锌铝靶(ZnAl靶) 4N
铁硅靶(FeSi靶) 3N5 锡银铜靶(SnAgCu靶) 4N
铁钴靶(FeCo靶) 3N5 铟锡靶(InSn靶) 4N


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