产品简介
物理和化学特性
钛铝合金靶材采用热等静压技术生产,具有硬度高、亮度高、耐腐蚀、抗氧化、长期不变色等特点。广泛应用于工具涂层、装饰涂层、各种磁控溅射、离子镀膜等设备。在PVD工艺中,可实现恒定的腐蚀速率以及高纯度、均匀的薄膜涂层。
采用钛镀铝膜的刀具可轻松实现更高的进给率、更佳的切削性能、更长的使用寿命和更高的金属去除率。钛铝溅射靶材和电弧阴极也可用于装饰涂层,以获得金棕色和棕黑色的膜层。我们的靶材已获得众多终端用户的认可,包括手表、卫浴、汽车后视镜等制造商。
Boyu生产用于装饰涂层和工具涂层的AlTi 25/75、AlTi 30/70、AlTi 33/67、AlTi 40/60、AlTi 50/50、AlTi 75/25 at%靶材和阴极。 我们灵活的生产工艺使我们能够调整涂层材料的微观结构,以达到您所需的效果。如果溅射靶材的颗粒排列均匀,用户就能获得恒定的蚀刻速率和均匀的涂层。
以下是我们 Al-Ti (30/70 at%) 溅射靶材的两张显微照片,平均晶粒尺寸如下 <100μm.
我们生产高纯度钛铝合金溅射靶材,其最重要的优势在于,您的薄膜拥有优异的导电性,并能最大程度地减少PVD工艺过程中的颗粒形成。下表是2N8高纯度钛铝合金(30/70原子%)溅射靶材的典型分析结果。
AlTi-3N-COA
合金溅射靶材 | |||
镍钒靶(NiV靶) | 3N5 | 铁锰靶(FeMn靶) | 3N5 |
镍铬靶(NiCr靶) | 2N8,3N,3N5 | 铝铜靶(AlCu靶) | 4N,4N5,5N |
镍铁靶(NiFe靶) | 3N5 | 铝硅靶(AlSi靶) | 4N,4N5,5N |
镍铂靶(NiPt靶) | 3N5 | 铝钛靶(AlTi靶) | 4N,4N5 |
镍铜靶(NiCu靶) | 3N5 | 铝锡铜靶(AlSnCu靶) | 4N |
镍铜钛靶(NiCuTi靶) | 3N5 | 铝铜硅靶(AlCuSi靶) | 4N |
镍铜锰靶(NiCuMn靶) | 3N5 | 铝铬靶(AlCr靶) | 4N |
铝钛靶(NiTi靶) | 3N5,4N | 镍铜靶(NiCu靶) | 4N |
镍钨靶材(NiW靶材) | 4N | 铝钪靶(AlSc靶) | 3N5 |
镍钴靶(NiCo靶) | 3N5 | 铝锌靶(AlZn靶) | 3N5,4N |
镍铬硅靶(NiCrSi靶) | 3N | 铝镁靶(AlMg靶) | 3N5,4N |
镍铬铁靶(NiCrFe靶) | 3N | 钒钛靶(VTi靶) | 3N5 |
镍铁钼靶(NiFeMo靶) | 3N | 钒钽钨靶材(VTaW靶材) | 3N5 |
钴钽锆靶材(CoTaZr靶材) | 3N5 | 钨钛靶材(WTi靶材) | 3N5,4N |
钴铬靶(CoCr靶) | 3N5 | 钨钼靶材(WMo靶材) | 3N5 |
钴铬钼靶(CoCrMo靶) | 3N5 | 钼铌靶材(MoNb靶材) | 3N5 |
钴铬钨靶材(CoCrW靶材) | 3N5 | 钼钽靶(MoTa靶) | 3N5 |
钴铬镍靶(CoCrNi靶) | 3N5 | 钼钠靶(MoNa靶) | 3N5 |
铜镍靶(CuNi靶) | 3N5 | 铌锡靶(NbSn靶) | 3N5 |
铜镍钛靶(CuNiTi靶) | 3N5 | 铌锆靶材(NbZr靶材) | 3N5 |
铜镓靶(CuGa靶) | 4N,4N5 | 钽钨靶材(TaW靶材) | 3N5 |
铜铟靶(CuIn靶) | 4N,4N5 | 钽铌靶材(TaNb靶材) | 3N5 |
铜铟镓靶材(CuInGa靶材) | 4N,4N5 | 铬铝靶(CrAl靶) | 3N |
铜铝靶(CuAl靶) | 4N,4N5,5N | 铬硅靶(CrSi靶) | 3N |
铜锡靶(CuSn靶) | 4N | 铬硅铝靶(CrSiAl靶) | 3N |
铁铪靶(FeHf靶) | 3N5 | 锌锡靶(ZnSn靶) | 4N |
铁镍靶(FeNi靶) | 3N5,4N | 锌铝靶(ZnAl靶) | 4N |
铁硅靶(FeSi靶) | 3N5 | 锡银铜靶(SnAgCu靶) | 4N |
铁钴靶(FeCo靶) | 3N5 | 铟锡靶(InSn靶) | 4N |