产品简介
铪溅射靶材 (Hf) 信息
铪，符号Hf，原子序数72，原子量178.49。该元素是一种有光泽的银灰色过渡金属。熔点2227℃，沸点4602℃，不溶于水，密度13.31g/cm3。铪是一种塑性金属，当存在杂质时会变硬变脆。它在空气中稳定，燃烧时表面只会变暗。灯丝可以用火柴的火焰点燃。性质类似于锆。它不与水、稀酸或强碱反应，但易溶于王水和氢氟酸。
| 材料类型 | 铪 |
| 简称 | Hf |
| 原子重量 | 178.49 |
| 原子序数 | 72 |
| 颜色/外观 | 灰色，金属色 |
| 热导率 | 23 W/m.K |
| 熔点 (°C) | 2,227 |
| 热膨胀系数 | 5.9 x 10-6/K |
| 理论密度 (g/cc) | 13.31 |
| Z Ratio | 0.36 |
| Sputter | DC |
| 最大功率密度 | 50* |
| (Watts/Square Inch) | |
| 绑定类型 | 铟，胶 |
| 出口管制(ECCN) | 1C231 |
我们的铪靶纯度高达99.95%。含气量低，粒度分布均匀。
铪靶广泛应用于物理蒸发沉积、磁控溅射等技术，用于制备各种薄膜材料，例如氧化物、氮化物、硅化物和金属。在半导体制造中，铪靶常用于制备硅、氮化硅、氧化铝和氧化锆等薄膜材料。这些薄膜材料在半导体器件中发挥着重要作用，例如提高器件的稳定性和性能。在显示器制造中，铪靶常用于制备透明电极材料，例如氧化铟锡 (ITO) 和氧化锌 (ZnO)。
Hf-3N5-COA
