物理和化学特性
氧化钽陶瓷靶材为无机化合物，为白色固体涂层材料，熔点1800℃，密度8.2g/cm³。在10-2Pa真空下蒸发温度为1920℃。可用钽、钨舟及线圈加热蒸发，也可采用钨坩埚加热蒸发，电子束加热蒸发效果良好。
该涂层可作为干涉涂层中的高折射率薄膜材料，其机械性能极强，不受强碱腐蚀，也可作为保护涂层，特别是在高温环境下使用。
相关陶瓷溅射材料
|
氧化物溅射靶材 |
|
(Al2O3) |
(Fe3O4) |
(LaNiO3) |
(Sc2O3) |
(AZO) |
|
(FTO) |
(LaFeO3) |
(SrTiO3) |
(ATO) |
(Ga2O3) |
|
(LaMnO3) |
(SrRuO3) |
(Bi2O3) |
(GZO) |
(MgO) |
|
(SrMnO3) |
(BiTiO3) |
(Gd2O3) |
(MoO3) |
(TiO2) |
|
(BaTiO3) |
(HfO2) |
(Nb2Ox) |
(Ti3O5) |
(CeO2) |
|
(Ho2O3) |
(NiO) |
(Ta2O5) |
(Cr2O3) |
(In2O3) |
|
(Nd2O3) |
(Tb4O7) |
(CoO) |
(ITO) |
(PbO) |
|
(Tm2O3) |
(CuO) |
(IZO) |
(ZTO) |
(VO2) |
|
(Cu2O) |
(IGZO) |
(Pr6O11) |
(V2O3) |
(Er2O3) |
|
(La2O3) |
(SiO) |
(V2O5) |
(Eu2O3) |
(LSCO) |
|
(SiO2) |
(WO3) |
(Fe2O3) |
(LaAl2O3) |
(Sm2O3) |
|
(Y2O3) |
(YSZ) |
(YBCO) |
(ZnO) |
(ZrO2) |
|
氟化物溅射靶材 |
|
(AlF3) |
(DyF3) |
(NdF3) |
(PrF3) |
(YF3) |
|
(BaF2) |
(LiF) |
(NaF) |
(SrF3) |
(ZnF3) |
|
(CaF2) |
(LaF3) |
(Na2AlF6) |
(SmF3) |
(YbF3) |
|
(CeF3) |
(MgF2) |
(KF) |
|
|
|
氮化物溅射靶材 |
|
(AlN) |
(HfN) |
(Si3N4) |
(TiN) |
(ZrN) |
|
(BN) |
(NbN) |
(TaN) |
(VN) |
|
|
碳化物溅射靶材 |
|
(B4C) |
(NbC) |
(TaC) |
(WC) |
(ZrC) |
|
(HfC) |
(NiC) |
(TiC) |
(WC+Co) |
(VC) |
|
(MoC) |
(SiC) |
(TiCN) |
|
|
|
硼化物溅射靶材 |
|
(CrB2) |
(FeB) |
(TaB) |
(TiB2) |
(HfB2) |
|
(LaB6) |
(ZrB2) |
|
|
|
|
硫化物溅射靶材 |
|
(CdS) |
(FeS) |
(MnS) |
(TaS) |
(MgS) |
|
(CuS) |
(PbS) |
(NbS) |
(WS2) |
(Sb2S3) |
|
(Ce2S3) |
(MoS2) |
(In2S3) |
(ZnS) |
|
|
硅化物溅射靶材 |
|
(CrSi) |
(MgSi) |
(TaSi2) |
(WSi2) |
(ZrSi2) |
|
(MoSi2) |
(NiSi) |
(TiSi2) |
(VSi) |
|
|
硒化物溅射靶 |
|
(Bi2Se3) |
(CrSe) |
(MoSe2) |
(Ga2Se3) |
(WSe2) |
|
(Cu2Se) |
(PbSe) |
(In2Se3) |
(GeSe2) |
(SnSe) |
|
(CdSe) |
(Sb2Se3) |
|
|
|
|
碲化物溅射靶 |
|
(CdTe) |
(PbTe) |
(GeTe) |
(GST) |
(Bi2Te3) |
|
(Sb2Te3) |
(Sb7Te3) |
|
|
|
|
锑化物溅射靶材 |
|
(AlSb) |
(InSb) |
(GaSb) |
(ZnSb) |
(AlGaSb) |
|
铁电/锂电池复合溅射靶材 |
|
钴酸锂 LiCoO2 |
锂锰镍氧化物 LiNi0.5Mn1.5O3 |
磷酸铁锂 LiFePO4 |
富锂钴氧化物Li(1+X)CoO2 |
富锂锰酸锂Li(1+X)Mn2O4 |
|
钛酸锂Li4Ti5O12 |
铝掺杂钴酸锂 AlLiCoO2 |
铝掺杂锰酸锂 LiMn2O4+Alx |
磷酸钛锂LiTi2(PO4)3 |
锰酸锂 LiMn2O4 |
|
磷酸锂 Li3PO4 |
磷酸硅锂 LiSiPO4 |
钛酸钡BaTiO3 |
钛酸锶SrTiO3 |
钛酸铋BiTiO3 |
|
镧锶钴氧化物 LSCO |
镧钙锰氧化物 LCMO |
钴酸锂 LiCo2O4 |
锆钛酸铅PZT |
氧化硼掺杂磷酸锂 Li3PO4:B2O3 |
|
钛酸镧锂 Li0.35La0.57TiO3 |
镧锆锂氧化物 LLZO |
镧锶锰氧化物LSMO |
铋铁氧体BiFeO3 |
钛酸锶钡 BaSrTiO3 |
